报告题目：金刚石微机电系统（MEMS）磁传感器的研究进展
报告人：张子龙研究员（中国科学院金属研究所）
报告时间：2026年4月14日下午4:00–5:00
报告地点：信息学馆502
邀请人：电子科学与技术系姜霖教授
报告内容概要：
磁传感器是智能制造、航空航天及医疗健康等领域的关键基础器件。面向强辐照、超高温及弱磁等极端环境的高可靠磁传感技术，已成为制约行业发展的核心瓶颈。然而，磁传感器在极端条件下存在灵敏度衰减与稳定性缺失等挑战，限制了其在资源勘探、核能工程及深空探测中的深度应用。MEMS磁传感器凭借小型化、高灵敏度、低功耗及可量产性等显著优势，展现出广阔的应用前景。本报告聚焦金刚石微机电系统（MEMS）磁传感器开展系统研究，充分发挥金刚石优异的热稳定性、化学惰性及力学性能，构建面向极端环境的微纳传感体系。通过集成高热稳定性磁致伸缩薄膜，研制出高灵敏度磁传感结构，并进一步拓展至磁温多功能传感及矢量磁传感，实现了多参量感知与磁场矢量解析。相关工作为极端环境下高可靠、多功能磁传感器的研制提供了新技术路径，形成的自主特色方案充分体现了金刚石微纳器件在极端环境智能感知领域的创新优势。
报告人简介：
张子龙，中国科学院金属研究所研究员，博士生导师。国家海外高层次引才计划（青年）、中国科学院“BR计划”（B类）及日本学术振兴会（JSPS）Fellow入选者。2020年获上海大学与日本国立物质材料研究所（NIMS）国家公派联合培养博士学位。曾先后在上海大学担任讲师（师资博士后）、日本NIMS担任JSPS外国人特别研究员，以及日本东北大学小野崇人教授课题组担任助理教授。2025年7月入职中国科学院金属研究所，任研究员。主要从事金刚石半导体材料与微纳传感器研究。获沈阳市领军人才、JSPS外国人特别研究员奖、第15届金刚石与纳米碳国际会议（NDNC）青年学者奖、国家公派留学等荣誉。先后主持国家及中科院海外高层次引才项目、JSPS特别研究员科研奖励费及中国博士后科学基金。作为重要成员参与日本文部科学省等项目3项。已在IEEE IEDM、IEEE MEMS、IEEE Transducers、Adv. Funct. Mater.、Phys. Rev. Lett.、Carbon等期刊发表论文57篇，其中第一作者/通讯作者论文33篇。完成1篇书籍章节撰写。2022年至今，担任Nano-micro Letters、Functional diamond等学术期刊青年编委、Micromachines学术期刊客座编辑和金刚石及制品领域青年工作委员会委员。